三星在3D分娩中减少了光刻胶的使用，影响最大的是供应商

发布日期：2024-12-09 21:02    点击次数：96

近日，业内讯息传来，三星电子在3D NAND闪存分娩的光刻工艺上取得了紧要默契，成效大幅减少了光刻胶的使用量。这家韩国半导体巨头仍是臆想好了将来的NAND分娩蓝图，指标是将光刻胶的使用量径直减半。

据了解，以往三星在分娩历程中，每层涂料需要使用7到8CCS的光刻胶，而当前这一数字仍是裁汰到了4到4.5CCS左右。这一显赫变化成绩于三星对纺丝速率（RPM）的精确死心以及对蚀刻历程的进一步优化。而三星之是以要减少光刻胶的使用，主如若为了裁汰NAND闪存的分娩本钱。

恒久以来，三星一径直收厚薄适中的氟化物（KRF）光刻胶来分娩3D NAND，因为这种光刻胶在层千里积方面具有显赫上风，好像同期酿成多层结构，从而提高分娩效果。关系词，高粘度的厚光刻胶在涂层均匀性方面却存在一定的挑战。

为了处罚这一费劲，同期保捏厚光刻胶的上风，三星早在2013年就驱动与东默契开合营，并成效推出了3D NAND居品。东进科技公司行动三星KRF光刻胶的独家供应商，提供了独有的配方，为存储芯片行业诱骗了新的标杆。三星在分娩中所使用的光刻胶厚度为11微米，GR7更是达到了14微米，这种较厚的涂层带来了昭彰的上风。

跟着三星行将推出全新的93D NAND居品，减少光刻胶的使用量将与束缚擢升的纺纱和蚀刻本领相连洽。瞻望这一变革每年将为三星量入制出数百亿韩元的本钱。关系词，关于东进半导体来说，这却带来了不小的挑战，因为三星是其最大的客户之一，光刻胶订单的减少可能会对其功绩产生影响。当前，东进半导体每年从光刻胶销售中得回约2500亿韩元的收入，其中约60%来自三星。

濒临三星的本钱削减举措，东进半导体董事长李博盛命令其原材料供应商也积极寻求量入制出本钱的措施。这一变化标明，跟着芯片分娩和价钱压力的束缚变化，供应链将进行新的退换和优化。